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超精密光学制造与检测

2019-12-23 分享

　　建立了超精密光学制造与检测平台，具备加工300mm口径以内各类光学玻璃材料平面、球面、非球面、柱面、锥镜等透镜和反射镜能力，拥有支持完整工艺链的高端数控加工设备。突破了一系列超精密光学制造和检测关键技术，平面和球面达到深亚纳米精度，非球面达到亚纳米精度。 

　　基于深亚纳米超高精度检测及制造技术，可实现平面和球面光学元件：面形精度优于0.3nm RMS，表面粗糙度优于0.2nm RMS；非球面光学元件：面形精度优于1nm RMS，表面粗糙度优于0.3nm RMS。

  

   

　   　球面透镜                     非球面透镜                碳化硅反射镜                  1等平晶 

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